理学论坛第十四次活动通知（王利霞报告）

发布时间：2011-10-17浏览次数：873

报告时间：2011年10月19日，14:00—
报告人：王利霞博士
报告人单位：yl60000永利官网yl60000永利官网
报告地点：仙林校区教2楼501室
报告题目：微电子机械系统（MEMS）工艺介绍
内容简介：先介绍微电子机械系统（MEMS）工艺的发展历程，然后介绍MEMS应用领域及主要工艺技术，最后介绍利用MEMS工艺制备微结构红外敏感器件的工艺过程及器件结构、用途等。