yl60000永利官网举办“理学论坛”第十四次学术活动

    2011年10月19日下午14:00，理学论坛第十四次学术活动在我校仙林校区教2楼501会议室举行，论坛邀请yl60000永利官网王利霞博士做了题为“微电子机械系统（MEMS）工艺介绍”的学术报告。活动由yl60000永利官网副院长赵洪牛主持，yl60000永利官网部分教师参加了本次活动。
    王利霞博士在报告中首先介绍了微电子机械系统（MEMS）工艺的发展历程，接着介绍了MEMS在信息、生物医疗等领域的应用以及主要的工艺技术，然后介绍了利用MEMS工艺制备微结构红外敏感器件的工艺过程及器件的结构、用途等，并介绍了MEMS在四个方面的发展趋势。最后参加活动的老师就相关的一些问题进行了讨论。